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双(三甲硅氧基)二甲基硅烷
IPUAC Name：[dimethyl(trimethylsilyloxy)silyl]oxy-[[dimethyl(trimethylsilyloxy)silyl]oxy-dimethylsilyl]oxy-dimethylsilane
六甲基二硅氧烷、HMDSO
CAS107-52-8
分子式C14H42O5Si6
分子量458.99 g/mol
非危品
双(三甲硅氧基)二甲基硅烷是一种有机硅化合物，常用作硅烷偶联剂和表面改性剂。在半导体工业中，它被用作化学气相沉积的前驱体，用于制备二氧化硅薄膜。此外，它还可用作有机合成中的保护剂和脱水剂。
科学粮草官-词典编辑部，修订于：2026-08-07
简介
简介描述
双(三甲硅氧基)二甲基硅烷是一种有机硅化合物，常用作硅烷偶联剂和表面改性剂。在半导体工业中，它被用作化学气相沉积的前驱体，用于制备二氧化硅薄膜。此外，它还可用作有机合成中的保护剂和脱水剂。
分子量
458.99
标准分子式
C14H42O5Si6
