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用于氧化还原金属置换反应,以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积,从而应用于超大规模集成设备。 Used in a redox transmetalation reaction to enhance CVD alloying technology for copper. Also used in the simultaneous etching of copper and deposition of palladium for applications in ultra large-scale integrated devices.
中文名称
六氟乙酰丙酮钯(II)
英文名称
Palladium(II) hexafluoroacetylacetonate
中文别名
二(六氟乙酰丙酮)钯
英文别名
MFCD00015709 | 1,1,1,5,5,5-hexafluoro-4-hydroxypent-3-en-2-one;palladium | SY044749
CAS号
64916-48-9
分子式
Pd(C5HF6O2)2
分子量
520.52 g/mol
精确质量
≥98%
PSA
-
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六氟乙酰丙酮钯(II) 1g

品牌:阿拉丁
货号:P124121-1g
级别: ≥98%
货期:30天
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