三甲氧基(十八烷基)硅烷（OTS）是一种重要的烷基硅烷，可与氧化硅形成强共价键，并可作为微机电系统（MEMS）的潜在润滑剂。OTS主要用于表面化学改性，对二氧化硅进行改性可使各种真空沉积和溶液浇铸有机半导体的电荷载流子迁移率增加。 三甲氧基（十八烷基）硅烷（OTMS）是一种烷基硅烷，可官能化多种纳米颗粒表面并促进形成具有高水接触角和低表面能的疏水涂层。\ OTS用于开发自组装单分子层（SAM）。OTS还用于对有机场效应晶体管的二氧化硅电介质表面进行改性。 磁性纳米粒子（Fe2O3）可以使用OTMS进行表面修饰。它可形成一种吸附剂，用于从牛奶样品中对内分泌干扰物（有机氯农药）进行磁性固相萃取（MSPE）。它可在AZ31镁合金上形成防腐蚀涂层，从而在汽车工业中具有潜在应用。它也可用于与粉煤灰形成复合材料，并用作涂层以形成超疏水和防紫外线的棉织物。 Trimethoxy(octadecyl)silane (OTS) is an important alkylsilane that can form strong covalent bonds with silicon oxide and serves as a potential lubricant for micro electro mechanical systems (MEMS). OTS is largely used for surface chemical modification, modifying silica resulted in an increased charge carrier mobility for a variety of vacuum deposited and solution cast organic semiconductors. For preparing hydrophobic coatings and self-assembled monolayers.